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中性子産業利用推進協議会

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応用物理学会「埋もれた界面のX線・中性子解析研究会」では
「新版X線反射率法入門」(講談社2018年刊)の刊行にあわせ、
第7回講習会「X線反射率法による薄膜・多層膜の解析」を開催
することになりました。X線反射率法による薄膜構造解析に関心
をお持ちの皆さまの参加をお待ちしています。

                記

  第7回講習会「X線反射率法による薄膜・多層膜の解析」
  http://xray-neutron-buried-interface.jp/TutorialXRR2018.pdf

主催:(公社)応用物理学会 埋もれた界面のX線・中性子解析研究会
    http://xray-neutron-buried-interface.jp/

日時:2018年9月26日(水)9:00~16:30

場所: 国立研究開発法人物質・材料研究機構 千現地区
  〒305-0047 茨城県つくば市千現 1-2-1 電話 029-859-2000)
  http://www.nims.go.jp/jpn/visiting/tsukuba.html

最寄り駅:つくばエクスプレス線 つくば駅 南へ徒歩8分
     http://www.mir.co.jp/

X線反射率法は、薄膜・多層膜の深さ方向の内部構造、具体的には、各層の
膜厚、密度、各界面のラフネス等を非破壊的に求めることができる解析技術
です。本講習会 では、X線反射率法の経験豊富な専門家(「新版X線反射率
法入門」(講談社2018年刊)の執筆陣)を講師に迎え、基礎から丁寧に解説
を行うとともに、シミュレーションやデータ解析の実習 を少人数グループ
にて、きめ細かく行ないます。 休憩時間には「X線反射率相談デスク」を設け、
日頃の疑問、質問したくてもなかなかできなかったことに7名の専門家がお答
えします。

プログラム
08:40      開場、受付開始
09:00 -09:30 X線反射率法とは        桜井健次(物材機構)
09:30 -10:20 X線反射率実験の注意事項   表和彦(リガク)
10:20 -10:30  休憩
10:30 -12:00  X線反射率法のシミュレーション・データ解析実習(A,B,Cコース)
12:00 -13:00  昼 食  (12:30-13:00 X線反射率相談デスク、7箇所設置)
13:00 -13:40  X線反射率法のシミュレーション・データ解析実習(A,B,Cコース)
13:40 -14:20  X線反射率データ例① 有機・高分子薄膜 林好一 (名工大)
14:20 -15:00  X線反射率データ例② 磁性体薄膜   上田和浩(日立)
15:00 -15:10  休憩
15:10 -15:40  X線反射率データ例③ 半導体薄膜    淡路直樹(富士通)
15:40 -16:05  X線反射率データ例④ ナノドット    奥田浩司(京大)
16:05 -16:30  X線反射率データ例⑤ 先端電子材料  川村朋晃(日亜化学)     
16:30 解散  (17:00まで X線反射率相談デスク、7箇所設置)

実習は、A. 実践コース (約4名 数年以上の経験のある方向け 担当 表和彦)、
B. 体験コース (約8名 初心者もしくは経験1~2年の方向け 担当淡路直樹)、
C. 実演見学コース(約8名 初心者もしくは経験1~2年の方向け 担当 
桜井健次)に分かれて実施します。

A. 実践コース  (担当 表和彦 約4名)
(検討したい実験データと ご自分のPCを必ずお持ちください。皆様の解析上
の疑問点や不明点を個別指導致します。ご自分のデータをご自分で解析されたい
方のみ参加できます。)

B. 体験コース(担当 淡路直樹  約8名)
(ご自分のPC(Windows)をお持ちください。実データの解析を体験して頂きま
す。講師が提供するいろいろな問題を考えて頂き、その解決を体感することで、
データ解析のコツを習得できます。ソフトウエアとデータは講習会の数日前にダ
ウンロードして頂きます。)

C. 実演見学コース (担当 桜井健次 約8名)
(講師が皆様の前でソフトウエアを使い、2~3の実データを例を素材として、
シミュレーションを丹念に行うことの重要性やデータ解析の考え方、個々の細か
な手順、注意事項を解説いたします。) 

実習コースはA, B, C のなか からお選びいただきます。特にご希望のない場合
も、個別にお話をうかががい、ご相談の上、最適のコースを決めさせて頂きます。
なお、当日になってからのコース変更はできません。ご注意ください。

教材
「新版X線反射率法入門」(講談社、6804円)を参考書として配布するほか(
ご希望に応じ着払い宅急便にて事前送付も致します)、すべての講義に完全対応
したレジュメを用意いたします。

受講費:
20,000 円(「新版X線反射率法入門」( 講談社2018年)1冊を含む、税込)

定員:約20名

参加申込み
 下記Webページにて、お申し込みください。
 折り返し、詳細なご連絡をいたします。
  http://xray-neutron-buried-interface.jp/ApplicationXRRschool.html

「新版X線反射率法入門」(講談社2018年刊)が刊行されることになり
ました。詳細については下記をご参照ください.
  http://xray-neutron-buried-interface.jp/NewReleaseOfXRRbookA.pdf


問合せ先:
 国立研究開発法人 物質・材料研究機構
   先端材料解析研究拠点 桜井健次
  TEL 029-859-2821 FAX 029-859-2801
  e-mail SAKURAI.Kenji@nims.go.jp